BESTACE 5系列氣體質量流量計及控制器，采用了316不銹鋼接液材質，具有高穩定性、耐用性、低價位、小體積等優點，被廣泛用于設備配套、過程控制、測試設備等場合。
5系列產品采用了熱式測量原理，因此也具備熱式原理的高精度、高靈敏性、寬量程比等特點，且無需平方根修正。同時采取了毛細管取樣方式，具有極低的能耗。每臺設備出廠前都會按照客戶指定的氣體、量程，嚴格地按照NIST標準進行出廠校準，同時，比例調節閥嵌入在流體通道內，從而保證了精巧的體積。
 
技術參數
原理：熱式原理
量程：流量計5SCCM～30SLPM；控制器5SCCM～20SLPM
材質：接液部位：316L不銹鋼
密封材質：標配氟橡膠（Viton）；丁納橡膠（Buna）
泄漏率：不超過1×10 毫升/秒，氦氣
環境溫度及介質溫度：0-60℃
精度：1%F.S（包括線性精度）
量程比:100:1
響應時間：1S
重復性：優于0.15%F.S
壓力極限：500PSIG
最大壓降：流量計：250Pa
控制器：7-14kPa（500SCCM以下）
控制器：35kPa（500SCCM-20SLPM）
電源：24VDC@250mA（流量計）24VDC@350mA（控制器）
輸出：0-5VDC或4-20mA（此回路不可接入電源）
設定點信號：內置0-5VDC或外置0-5VDC（需去掉跳線）
電氣連接：9針D接口（9 Pin Sub D）
溫度影響系數：優于0.05%F.S/℃
壓力影響系數：優于0.01%F.S/PSI
標準溫度：21℃
標準壓力：760Torr
重量：流量計：440g 控制器：460g
認證：CE